InstruTech公司位于美国的科罗拉多州,是致力于真空测量和控制仪器的设计、制造和服务的专业公司。InstruTech公司的真空计采用最先进的真空技术设计,可以提供2.00E-11 Torr到1000 Torr的测量范围。InstruTech公司的真空计和真空控制器系列产品包括:增强型皮拉尼真空计,热阴极电离真空计(hot cathode Bayard-Alpert)和冷阴极双控磁电离真空计。InstruTech公司的理念是提供多功能,极高可靠性的高性价比真空计。因此,InstruTech所提供的真空计及真空控制器极大程度上节约了成本,从而提高产品的性价比。InstruTech真空计主要用于:半导体制备、薄膜沉积、数据存储设备制造、政府和学术研究机构、分析化学、真空加工、工业中。
产品范围:
美国InstruTech真空计、InstruTech真空控制器、InstruTech、InstruTech电离真空计、InstruTech增强型对流真空计
主要型号:
IGM402、WGM701、IGM401、CCM502、CCM501、BA600、PCM301、CVM201、CVM211、CVG101、CDM900、VSM100、VGC301
B-RAX™ 3000系列:B-RAX 3400、B-RAX 3300、B-RAX 3200
美国InstruTech CCM501冷阴极双反磁控管电离真空计简介:
产品特点:
宽泛的测量范围:1.00E-8 Torr到1.00E-2 Torr
内置控制器及OLED数字显示
用户可根据需求对单位(Torr,mbar,Pa )进行变换
双反磁控管技术提供增强的敏感性
传感器可轻松拆卸清洗
改进传感器信噪比为整个测量范围提供了稳定性
配置3个对数线性模拟输出,3个设定点继电器和标准RS485串行接口
可选择多种尺寸的配件—NW16KF,NW25KF,NW40KF,1 1/3 in. Mini- Conflat®,和2 3/4 in. Conflat®
技术参数:
测量范围 |
1×10-8~1×10-2Torr |
精确度(N2) |
+30% |
重复测量误差 |
+5% |
显示 |
明亮黄色OLED显示,2位数字+1位指数,可变换单位 |
过压保护 |
厂家默认设定在5 x 10-10 Torr仪器关闭 |
内部容积 |
1.965 in3(32.2 cm3) |
温度 |
工作温度:0~40℃ 存储环境温度:-40~70℃ |
烘烤温度 |
150℃(仅限于表,电子元件不可) |
湿度 |
0~95% RH,非冷凝 |
重量 |
配置NW25KF法兰:1.7 Ib.(0.77kg) |
串行通信接口 |
标准 RS485,最小指令间隔:50 ms |
灯丝控制 |
选择1个还是2个灯丝工作,通过操作显示屏按钮调节,或者通过RS485串行通讯 |
输入功率 |
20-28VDC,7.2W(max) |
美国InstruTech BA603电离真空计简介:
产品特点:
电阻热及电子轰击两种除气方式
宽泛的量程 :4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr
坚固的双螺旋钨网格
可选择多种法兰接口:3/4 in. and 1 in. diameter Kovar, 25KF, 40KF, 1 1/3 in. Mini-Conflat® and 2 3/4 in. Conflat®
技术参数:
测量范围 |
4 x 10-10to 1 x 10-3 Torr |
精确度 |
+20% of reading |
X射线极限 |
24x 10-11 Torr |
除气-电子轰击 |
100W(max) |
除气-电阻热 |
6.3-7.5 VAC,10A |
灯丝电流 |
4.0-6.0 A |
灯丝电压 |
3.0-5.0 V |
灯丝电位 |
+30 VDC |
栅极电位 |
+180 VDC |
收集极电位 |
0V |
烘烤温度 |
450℃ |
收集极 |
钨丝,直径0.010 in. |
灯丝 |
单根/双根 镀铱(或钨)氧化钇 |
栅格 |
坚固的双螺旋钨制 0.025 in. |
绝缘元件 |
陶瓷 |
长度 |
全长 6.0 in. |
可选法兰 |
3/4 in. diameter Kovar |
美国InstruTech VCG301 真空控制器产品特点:
宽泛的测量范围
可控制CVG101真空传感器
使用更省空间的1/8 针面板
可任意更换单位(Torr/mTorr, bar/mbar, Pa)
1个模拟输出,2个设定点继电器,RS232/RS485串行通讯接口
可以与GP Convectron真空传感器配合使用
VCG301 真空控制器技术参数:
测量范围 |
1.0 x 10-4 ~ 1000 Torr |
显示 |
OLED,4位数字 |
显示更新率 |
0.5秒 |
重量 |
9 OZ.(250g) |
工作温度 |
0-40℃ |
工作湿度 |
0-95%,非冷凝 |
电子连接器 |
真空传感器: 9- 针 D 型 内螺纹 |
输入功率 |
12-30VDC,2W(max) |