光学系统规格

物镜目镜显微镜工作

距离视场

直径

放大倍数焦距放大倍数焦距放大倍数

2.5×/0.0843.4010×25.0025×58.845.6

10×/0.2517.13100×7.811.6

测量工作台读数装置主要规格

X轴遇到测量范围50nm

Y轴遇到测量范围13nm

测量器分度值：0.01nm

测量台转动范围不限：NO limit

测量台刻度盘分度范围：0°～360°

测量台刻度盘之分度值：1°

测量台刻度盘游标读数示值：6’

测量精度：

仪器示值误差：± （4+L/15）μ m

仪器示值误差：包括测量误差和系统误差

注：测量地点温度变化20℃ ±3℃，L--被测件长度