苏州奥扬 德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M:
抽速范围在1400-2800l/s的磁悬浮涡轮分子泵。ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁
轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性,同时
运行时也非常安静。磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体、镀膜和离子
刻蚀等行业。
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M 优点:
1.清洁无油,大抽速
2.免维护低成本保养费
3.涡轮分子泵 低的噪音和震动
4.可任意角度安装
德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600
德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 ATH 2300
德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 ATH 2800
德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 ATH 3200