优势

• 佳解决方案－涡旋泵和油泵的理想替代品
• 气冷模式 - 省去了水冷模式下的安装和运行费用
• 变频器 - 计时表，远程操作模式（RS-485、干触点、Profibus可选），多转速选择（节能，噪音低）
• 多接口选择 - 吹扫气体，气镇，其它符合要求的特定接口
• 通用电源 - 宽电压供应 50/60 Hz 单相和三相
• 标准认证 - 符合 CE 标准，通过 UL/CSA 认证，SEMI S2 认证

应用

• 电子显微镜
• 表面分析仪
• 检漏仪
• 质谱仪
• 光谱仪
• 粒子加速器
• 涡轮分子泵组
• 实验室
• 灯具制造
• 真空镀膜
• 低温泵再生
• 等离子清洗
• 干燥
• Load-lock