苏州奥扬 用于洁净工艺的干泵
普发真空拥有成熟的多 罗茨干泵技术，为洁净工艺提供各类解决方案。在这些应用中，真空泵具有抽速高、
坚固耐用和可靠性高的显著特点。
 ACP 系列中的风冷多 罗茨泵
ACP 系列的多 罗茨泵是专为无油无颗粒的应用工艺而设计，压力范围在大气压到 3 · 10-2hPa 之间。在用
于残余气体分析系统、电子显微镜或 UHV 系统中时，该气冷泵是旋片泵的 佳取代产品。它们可作为涡轮分
子泵的理想粗真空泵。G 型号系列真空泵是专为传输少量腐蚀性气体而特殊研发设计的。该版本的ACP系列
真空泵适用于传送腔、工艺监测系统及离子束应用中。 ACP 系列产品中，CV 型号的风冷真空泵具有高达
1,000 g/h的水蒸汽容量。该系列产品是专为避免泵体内的蒸汽冷凝而设计的。

应用

• 电子显微镜
• 表面分析仪
• 检漏仪
• 质谱仪
• 光谱仪
• 粒子加速器
• 涡轮分子泵组
• 实验室
• 灯具制造
• 真空镀膜
• 低温泵再生
• 等离子清洗
• 干燥
• Load-lock