多气体,多范围,弹性体密封,50 - 50,000 sccm质量流量控制器
G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485,Profibus,EtherCAT或DeviceNetI / O. 数字控制电子设备利用 新的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定点进行快速,可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。
流速从5到50,000 sccm
Viton,Buna,氯丁橡胶或Kalrez的密封和阀塞选项
建立时间小于750毫秒
标准封闭电导泄漏率小于满量程的0.1%