901 Plus(901P)负载锁定传感器(LLT)专为负载锁定环境而设计,结合了Piezo和Micro Pirani™真空传感器技术。与传统的导热系数相比,这种组合输出可提供更高的精度,稳定性,可重复性和更快的响应时间。
对压力测量范围为1,000至10 -5 Torr
单个传感器具有3传感器功能,适用于宽测量范围
模拟,RS232,RS485和EtherCAT®版本
可选的集成触摸屏显示器,可用于本地压力指示
快速,准确和可重复的压力测量可缩短工艺周期
三个可选设定点,响应时间快,可靠的过程控制