采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等 系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。

它主要是利用废气分子的裂解和分化，因为在超强的紫外线光束作用下，废气分子会发生形态的改变，由原来的大分子化合物降解成低分子的化合物，可以将原有废气当中的原子和电离子重新的进行组合，进而达到净化处理废气的效果和目的。Uv光催化废气处理设备严格来讲应该称为UV光催化氧化废气净化装置，废气进入到此设备， 在UV紫外线光束的照射下产生裂解，将废气中含有的氨、苯等voc的分子键打断，使其成为污染物小分子或打断成分子链，同时UV紫外线分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧正负电子不平衡所以需与氧分子结合，产生臭氧，此时，游离状态的污染物小分子与臭氧氧化结合成无害或低害的化合物，如二氧化碳和水。但是， 些氧化性相对较差的污染物分子不会立即与臭氧发生反应，在废气通过此设备的过程中，此类污染物分子在设备内置催化板的强催化作用下，才能够发生上述反应。

光氧催化废气净化器安全要求： 、光氧净化设备处理室与电源控制系统及电源连接部分进行严格分离，所有需连接部分用抗高温，防腐蚀电线和橡胶垫进行密封处理，不容许任何带电部分与废气接触，电路部分设置多重过压、过流、短路保护，保证电器部件即使发生瞬间漏电短路情况，也不会引燃引爆光解室内易爆气体。二、UV光管全部用耐高温特殊材质结晶管套（安全、防碎、99%的穿透性、100%的防止灯管内的物质溢出）。三、所有高能C波光管均采用独立专用电源模块供电，该电源模块具备过压、过流、空载、短路、超温等保护功能，高能C波光管 有异常，电源模块即停止该光管的运行并发出警示。四、本设备内部结构精密，非本公司专业维护人员不得随意打开设备，以免造成人为原因导致设备的损坏。五．设备在运行过程中，会瞬间产生大量的强刺激性UV光线，严禁人员眼睛或皮肤直接暴露在光源中，需在有安全防护措施的情况下视察。

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