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名称（Name） |
真空式等离子处理系统 |
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型号（Model） |
CRF-VPO-8L-S |
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控制系统（Control system） |
PLC+触摸屏 |
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电源（Power supply） |
380V/AC,50/60Hz,3kw |
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中频电源功率（MF Power） |
600W/13.56MHz |
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容量（Volume） |
80L（Option） |
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层数（Electrode of plies） |
8（Option） |
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有效处理面积（Area） |
400（L）*300（W）（Option） |
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气体通道（Gas） |
两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2 |
产品特点：超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，有效控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。
保养维修成本低，便于客户成本控制。
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
应用范围：主要适用于生物医疗行业，印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
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