Brooks GF100 / GF120 / GF125质量流量控制器设计用于半导体，MOCVD和其他气体流量控制 需要高纯度全金属流路的应用。 Brooks GF100系列质量流量控制器和 仪表具有出色的性能，可靠性和灵活性。

选择GF100系列功能集可直接替换和升 大多数品牌的金属密封质量流量 控制器，包括前Celerity，UNIT，Tylan和Mykrolis品牌。 具有广泛的选项和功能 GF100系列可为用户提供简化和标准化的途径，从而大大减少了备件，库存， 和支持费用。

GF125是 二代，多变量，压力瞬变不敏感质量流量控制器。 这个产品建立 凭借布鲁克斯在压力瞬变不敏感（PTI）质量流量控制器技术中的领导地位，将过程 小化 压力和温度波动引起的气体流量变化。 GF125使客户能够简化和减小尺寸 消除了对使用点压力调节器，压力传感器和相关设备的需求，从而降低了燃气面板的成本 硬件。

GF100系列的应用包括：

• 半导体蚀刻工具
• 薄膜化学气相沉积系统（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
• 物理气相沉积（PVD）系统
• 外延工艺系统
  
  美国布鲁克仪器公司，成立于1946年，专注于创新。他们拥有150多个有效专利，包括在基本流体测量和控制技术方面的多重进步。布鲁克仪器为流量测量和控制应用提供准确 可靠的产品。BrooksInstrument是《财富》 200强公司ITW（伊利诺伊州工具厂）的子公司。ITW是专业工业设备，消耗品和相关服务业务的 多元化制造商之 ，美国布鲁克斯公司已经 繁荣了100年，因为ITW的每 项业务都具有独立的企业家精神和创新自由。