通过 MEMS 传感器（微机电系统）记录重力场中的倾角，随后通过控制器进行数字化和线性化。MEMS 传感器是使用硅体微机械技术制造的集成电路。借助可移动的微机械结构形成双倍容量。如果这些结构在加速度的情况下发生偏转，例如重力加速度 (g)，则会导致容量变化，这些变化会通过测量技术进行记录和进 步处理。输出电压遵循函数 U ~ g * sin α。在这种情况下，角度 α 是相对于 g 向量测量的传感器倾斜角。这些传感器测量精确、使用寿命长且非常坚固。测量轴彼此独立运行。